静岡大学　薬液を使用しない低環境負荷型の洗浄技術を開発

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静岡大学工学部機械工学科の真田俊之助教は、2010年１月29日、薬液を使わずに水蒸気と水のみで洗浄する工業・産業プロセス向けの新しい洗浄技術を開発したと発表した。本研究は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の産業技術研究助成事業の一環。

ノズル形状や設計の工夫により蒸気噴流を制御。超微細な表面でも蒸気の凝縮効果で濡らすことが出来、優れた洗浄効果（ナノスケールでの粒子の除去）が得られる。薬液が必要な場合でも超微量（数百ppm程度）の投入で十分な洗浄能力があり、大幅な環境負荷の低減となる。

半導体デバイス、プリント基板、光学レンズ、大型ガラスの洗浄用途の他、医療器具、食品、一般家庭など、洗浄に関わるあらゆる分野での応用が期待される。

今後静岡大学では、様々なサンプルへの洗浄能力評価、早期の実用化を目指すとともに、薬液使用量を減らしたいとの要望を持つ企業や組織との意見交換、共同開発を提案している。

薬液を使用しない低環境負荷型の洗浄技術を開発
http://venturewatch.jp/nedo/20100129nr.html
研究室Webページ
http://www.ipc.shizuoka.ac.jp/~ttsanad/

登録日時：2010/04/06 06:00:15 AM